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이차전지 도금 기술특허 리뷰
REVIEW LIST
전기도금 용액 내에서의 평탄화제 농도 모니터링
출원인 Novellus Systems
첨가제 중 레벨러의 농도를 측정하는 방법을 제시한다.
도금 방법 및 도금 장치
출원인 Ebara corporation
전해도금에서 캐소드의 전위를 측정하여 억제제 성분의 농도를 모니터하는 방법과 장치 구조를 제안한다.
Reviewed by PPR
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